直線光柵尺測(cè)量直線軸位置,測(cè)量期間沒(méi)有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。因此,它能******以下潛在誤差源:
? 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差
? 反向誤差
? 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差
因此,直線光柵尺是高精度定位和高速加工機(jī)床不可或缺的基礎(chǔ)技術(shù)手段。
敞開(kāi)式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于超高測(cè)量精度的機(jī)器和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括:
? 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
? PCB電路板組裝機(jī)
? 超精密機(jī)床,例如加工光學(xué)器件的金剛石刀具,加工磁盤(pán)的端面車(chē)床和加工鐵氧體元件的磨床
? 高精度機(jī)床
? 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
? 直驅(qū)電機(jī)
機(jī)械結(jié)構(gòu)
敞開(kāi)式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺帶和讀數(shù)頭,光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接觸。
敞開(kāi)式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝面上。因此,安裝面的平面度是高精度直線光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件。